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変換素子にひずみゲージを使用して、センサ內(nèi)部でブリッジを構(gòu)成した小型薄肉構(gòu)造をした圧力センサです。スパッタリングとフォトリソグラフィ技術(shù)による薄膜ひずみゲージをダイヤフラム上に直接形成してあります。取り付けは接著剤を使用して行います。主に気體計(jì)測(cè)用に開発されたものです。
注1）接液部の材質(zhì)は銅合金を使用しています。本材質(zhì)が腐食する恐れのある液體、気體には使用しないでください。 注2）接液部の組立に接著剤を使用しております。有機(jī)溶剤（トルエン、ケトン類など）の測(cè)定には使用できません。 注3）高溫高濕の場(chǎng)所で長(zhǎng)時(shí)間測(cè)定することはできません。 注4）水中で使用できません。
