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優(yōu)れた高溫特性の高溫?低溫両用,絶対圧測定が可能な高信頼型スパッタゲージ式圧力変換器です。本器は,スパッタリングとフォトリソグラフィ技術(shù)により,薄膜ひずみゲージと溫度補償用抵抗膜を同一ダイヤフラム上に直接形成して溫度補償を行い,高溫でも溫度補償が精度良く行うことができます。